Tɔjihun e nɔ klɔ́ wafer quartz tɔn é
Tɔjihun e nɔ klɔ́ wafer quartz tɔn é nyí nǔ e è nɔ zán dó klɔ́ wafer ɖò nǔ e nɔ hɛn nǔ cí mɔ̌ é sín nǔwiwa mɛ é ɖé.
Nǔ e è zán é: 99,99% quartz
Tinmɛ
Nùɖé lɛ
- Nǔ e nɔ ɖí xwi xá zozo ɖaxó é
- Nǔ e nɔ ɖí xwi xá nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé lɛ é
- Nǔ e nɔ ɖí xwi xá nǔ e è nɔ dó lɛ é
- É bɔkun bɔ è na klɔ́ .
Zǎn: ɖè nǔ kwijikwiji e ɖò jǐ lɛ é síìn
Kpɔ́n ɖɔ è bló fɛ́nnú semiconductor lɛ tɔn ganji à jí.
Nukùnkpénùwù
1. Nukúnnúmɔjɛnǔmɛ Nukúnkpédómɛwu Nukɔntɔn-
È nɔ zán dó hɛn kɔ́fu lɛ gbɔn afɔ e è nɔ sɔ́ dó slá wǔ na lɛ é jí alǒ gbɔn kɔ́fu lɛ jí (kpɔ́ndéwú ɔ, kɔ́fu RCA tɔn lɛ) bo nɔ ɖè nǔ kwijikwiji e ɖò gbɛ̀ ɔ mɛ lɛ é, gan lɛ, kpo nǔ kpɛví kpɛví lɛ kpo síìn cobɔ è nɔ bló diffusion alǒ oxidation sín tuto lɛ ɖò zozo ɖaxó mɛ.
2. Post-CMP (Planarisation Mécanique Chimique) Súnsúnnú
É nɔ hɛn fɛ́n lɛ ɖò fɛ́n ɖiɖó gudo bo nɔ ɖè fɛ́n lɛ kpo nǔ e ɖò fɛ́n ɔ jí lɛ é kpo síìn, bo nɔ bló bɔ fɛ́n lɛ nɔ jlɔ́ ganji nú afɔ e bɔ d’ewu lɛ é.
3. Nukɔn-Fífó--Linlin (FEOL) tɔn
É nɔ w’azɔ̌ ɖò FEOL sín mimɛ̌jininɔ sín akpáxwé taji lɛ mɛ, fí e è nɔ byɔ nǔ e mɛ́ tawun lɛ é ɖè é nú hɔntogbo sín oxide sín susu, epitaxial deposition, alǒ ion implantation.
4. Gudo-Fífó--Tɛnmɛ (BEOL) sín Azɔ̌wiwa
É nɔ d’alɔ wafer lɛ ɖò mimɛ̌jininɔ gudo -etch alǒ post-deposition hwenu bo nɔ ɖè fotoresist, etch sín nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu lɛ é, kpo nǔ kwijikwiji gan tɔn lɛ kpo síìn ɖò nǔ e è bló ɖó kpɔ́ lɛ é gudo.
5. Nǔ e è nɔ bló dó bló nǔ lɛ na é
É nɔ zɔ́n bɔ è nɔ klɔ́ wafer-level cobo nɔ bló dicing alǒ bond ɖò 2.5D/3D IC packaging mɛ, bo nɔ bló bɔ è nɔ mɔ nǔ kwijikwiji-ɖò xóɖɔɖókpɔ́ lɛ mɛ nú xóɖɔɖókpɔ́ e è sixu ɖeji dó wutu tɔn lɛ é.
6. Nǔɖiɖó Fotovoltaïque tɔn
È nɔ zán ɖò hwesivɔzɔ́watɛn lɛ mɛ bo nɔ klɔ́ nǔ e ɖò silicium jí lɛ é, bo nɔ bló bɔ nǔ lɛ nɔ nyɔ́ kpɔ́n d’eji bo nɔ lɛ́ yí weziza ganji, lobo nɔ lɛ́ ɖyɔ hlɔnhlɔn ganji.
Mimé
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Nǔɖokan agbaza tɔn lɛ |
Nǔ xɔ akwɛ |
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Mɛɖeɖóvo |
＞99.99% |
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Nùjlajla |
G 2,2/cm3 |
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Nukúnnúmɔjɛnǔmɛ |
＞90% |
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Mohs sín syɛnsyɛn |
5.5--6.5 |
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Fí e è nɔ ɖyɔ nǔ ɖè é |
1280 degré |
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Nǔ e nɔ fá é |
1750 degré |
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Nǔ e è nɔ dó zo é |
1250 degré |
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Zozo ɖesu (20 - 350 degré ) |
670J/kilo. azɔmɛ |
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Zozo hɛn (20 degrés ) |
1,4W/m. azɔmɛ |
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Zozo yiyi (w/mk, degré 1000) |
1.0-1.2 |
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Index de réfraction |
1.4585 |
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Coefficient de l'expansion thermique |
5.510 -7cm/cm. azɔmɛ |
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Zozo - azɔ̌wiwa sín zozo |
1750--2050 deglɛ |
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Azɔwiwa hwenu kpɛvi - |
1450 degré |
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Azɔwiwa hwenu gaga - |
1100 degré |
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Nǔ e ɖò sin mɛ lɛ é |
Nǔ xɔ akwɛ |
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Acid nɔ ɖí xwi xá |
Acide syɛnsyɛn (zɛ HF wu), alkali syɛnsyɛn, linsin organique |
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Zozo ɖaxó É nɔ ɖí xwi xá nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé é |
Nylà kàn |
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Nǔ kwijikwiji e ɖò gan mɛ lɛ é |
<5 ppm |
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Nǔ e ɖò lɛ̌ɛnkanvɔ jí lɛ é |
Nǔ xɔ akwɛ |
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Nǔ e nɔ ɖí xwi xá nǔ lɛ é |
7107Ω.cm |
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Hlɔnhlɔn e nɔ hɛn nǔ cí mɔ̌ é |
250-400Kv/santimɛtlu |
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Nǔ e nɔ nɔ ayǐ é |
3.7~3.9 |
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Coefficient Absorption Diélectrique |
＜410-4 |
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Coefficient de perte diélectrique |
＜110-4 |
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Nǔ e ɖò macinu jí lɛ é |
Nǔ xɔ akwɛ |
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Hlɔnhlɔn e nɔ hɛn nǔ syɛnsyɛn é |
1100MPa |
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Hlɔnhlɔn e è nɔ dó kɔ́n é |
67MPa |
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Hlɔnhlɔn e nɔ dɔn mɛ é |
48MPa |
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Poisson sín jlɛjininɔ |
0.14~0.17 |
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Module Young tɔn |
72000MPa |
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Module de scission |
31000MPa |
Wlɛnwín nǔsisɔ tɔn lɛ .
Nǔsisɔ ɖò sin mɛ:
Sɔ́ kɔ́fu ɔ dó tɔjihun e nɔ klɔ́ nǔ é mɛ, enɛ gudo hǔn, nylɔ tɔjihun ɔ dó sin e nɔ klɔ́ nǔ é mɛ, bo bló bɔ sin e nɔ klɔ́ nǔ é kpo kɔ́fu ɔ sín jǐ kpo na nɔ xò nǔ kplé d’eji gbɔn kɔ́fu ɔ sísɔ́ jǐ gblamɛ, bonu nǔsisɔ ɔ na nyɔ́ hugǎn.
Súnsún nǔ dó mimɛ̌ jí:
Sɔ́ tɔjihun e nɔ klɔ́ nǔ é jlɔ́jlɔ́ ɖò fí e è nɔ fúnfún nǔ dó é, bo zán kɔ́fu ɔ dó fúnfún sìn e nɔ klɔ́ nǔ é dó kɔ́fu ɔ jí bo ɖè nǔ kwijikwiji lɛ síìn.
Nǔ taji e ɖò tɔjihun lɛ mimɛ̌jininɔ mɛ é:
- Kpɔ́n ɖɔ wafer lɛ ni mɛ́: Wafer lɛ sín jǐ e mɛ́ é ɖò taji tawun nú lee è na bló fɛ́n semiconductor lɛ gbɔn é, bɔ tɔjihun e nɔ klɔ́ nǔ lɛ é nɔ wà nǔ taji ɖé ɖò nǔ mimɛ̌jininɔ ɔ hwenu.
- Kpɔ́n ɖɔ è sixu ɖeji dó nǔ e è nɔ ylɔ ɖɔ semiconductor chips lɛ é wu: Kpɔ́n ɖɔ è sixu ɖeji dó nǔ e è nɔ ylɔ ɖɔ chips lɛ é wu, bo ɖè nǔ e nɔ hɛn nǔ gblé dó mɛ wu lɛ é kpò gbɔn nǔ kwijikwiji e ɖò nǔ ɔ jí lɛ é sísɔ́ síìn gblamɛ.
- Blǒ bonu nǔ e è nɔ ylɔ ɖɔ chips semi-conducteurs lɛ é ni nɔ tɔ́n: È ni bló bɔ wafer lɛ ni nɔ mɛ́ d’eji, bɔ enɛ na zɔ́n bɔ è na bló bɔ nǔ e è nɔ ylɔ ɖɔ semiconductor chips lɛ é na nyɔ́ hugǎn.
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Sɔ́ nǔkanbyɔ lɛ sɛ́dó
A Sixu Bló
